コンビナトリアル手法による3元系非晶質絶縁膜材料探索とその課題
(Amorphous stability of three component composition spread thin film)
第63回応用物理学会学術講演会. 2002年09月24日-2002年09月27日.
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作成時刻: 2017-02-18 02:50:48 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:31:12 +0900