Microstructural Change in dislocation Structure around SiGe/Si interface in SGOI wafer : wafer ramping process
(加熱に伴うSGOI ウェーハのSiGe/Si界面近傍における転位構造の微細構造解析)
5th International Conference on Si epitaxy and Heterostructures . 2007年05月21日-2007年05月24日.
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 12:08:16 +0900更新時刻: 2022-09-05 12:08:16 +0900