SAMURAI - NIMS Researchers Database

HOME > 口頭発表 > 書誌詳細

Guiding Principles for Preparing High Quality Microcrystalline Silicon at High Growth Rates
(高品質微結晶シリコンの高速作製指針)

第16回日本MRS学術シンポジウム. 2005年12月09日-2005年12月11日.

NIMS著者


Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


    作成時刻: 2022-09-05 11:45:24 +0900更新時刻: 2022-09-05 11:45:24 +0900

    ▲ページトップへ移動