カルーセル型多元マグネトロンスパッタリングによるTi-Ni形状記憶合金薄膜の作製
(Formation of Ti-Ni Shape Memory thin Films with a Carrousel Type Magnetron Sputtering System)
日本金属学会 １９９６年春期講演大会. 1996年03月26日-1996年03月28日.
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作成時刻: 2017-02-18 01:04:38 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:36:19 +0900