超高感度ナノメカニカル膜型表面応力センサー（ＭＳＳ）の開発
(Development of highly sensitive nanomechanical membrane-type surface stress sensor (MSS))
Award Ceremony of Tsukuba Encouragement Prize. 2013. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 10:52:17 +0900更新時刻: 2024-03-05 11:44:52 +0900