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著者名吉川 元起.
タイトル超高感度ナノメカニカル膜型表面応力センサー(MSS)の開発
(Development of highly sensitive nanomechanical membrane-type surface stress sensor (MSS))
会議名Award Ceremony of Tsukuba Encouragement Prize
発表年2013
言語Japanese
外部での文献参照

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