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著者名宮武 秀宇, 有馬和也, 寺地 徳之, 伊藤利道.
タイトル高品質ホモエピタキシャルCVDダイヤモンド成長における基板表面状態依存性
(Dependence of Substrate Surface Features on Homoepitaxial Growth of High-Quality CVD Diamond)
会議名第53回応用物理学会学術講演会
発表年2006
言語Japanese

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