UVレーザCVDによるSiCの低温合成.
(Low Temperature Synthesis of SiC by UV Laser CVD.)
第2回SAMPE先端技術国際会議. 1991年12月11日-1991年12月14日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 00:22:59 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:12:32 +0900