MOCVD法を用いて合成したアナターゼ薄膜の容量過渡応答法による深い準位の評価
(DLTS study of anatase TiO2 grown by MOCVD)
第62回応用物理学会学術講演会. 2001年09月11日-2001年09月14日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 02:24:00 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:18:30 +0900