短チャネルFET集積化に向けたコンタクト金属誘起引張歪みによるMoS2の伝導度向上
(MoS2 conductivity enhancement by contact-metal-induced tensile strain toward short-channel-FETs integration)
第87回応用物理学秋季学術講演会. 2026年09月08日-2026年09月11日.
NIMS著者
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作成時刻: 2026-09-15 03:06:50 +0900 更新時刻: 2026-09-15 03:06:50 +0900