走査型マイクロ波プローブ顕微鏡による多成分コンポジションスプレッド誘導電体薄膜の迅速評価
(high-throughput characterization of multi-component composition-spread dielectric thin films by the scanning microwave microscop)
2002年春季第49回応用物理学会. 2002年03月27日-2002年03月30日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:11:02 +0900 更新時刻: 2018-05-30 18:58:45 +0900