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イオン注入した GaN の光熱偏向分光法による評価

著者福田 清貴, 尾沼猛儀, 山口智広, 本田徹, 岩井 秀夫, サン リウエン, 角谷 正友.
会議名第65回応用物理学会春季学術講演会
発表年2018
言語Japanese

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