Surface Oxidation of Silicon Blisters formed by Hydrogen Ions Irradiation
(水素イオンにより作製したシリコンブリスター表面の酸化現象)
AVS 50th International Symposium. 2003年11月02日-2003年11月07日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 03:17:38 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:42:16 +0900