蒸着膜表面の潤滑性に及ぼすBN析出の影響.
(Effect of BN Precipitate on Lubrication of Film Surface.)
日本表面科学会. 1991年12月02日-1991年12月04日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 10:55:44 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:12:31 +0900