プラズマ酸化過程にろける表面応力の研究
(The Study of Surface Stress Silicon Oxide Layer made by Plasma Oxidation.)
日本真空協会 第39回 真空に関する連合講演会. 1998年11月11日-1998年11月13日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 01:34:31 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:51:51 +0900