有機金属ガスを用いた電子線誘起蒸着法によるナノ構造作製
(Electron beam induced nano-fabrication using metal-organic gases)
第3回荷電粒子光学シンポジウム. 2003年09月18日-2003年09月19日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 03:37:34 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:48:05 +0900