シリコン酸チッ化中の表面応力変動
(Surface stress during plasma oxidation and nitrogenation)
第42回真空に関する連合講演会. 2001年09月17日-2001年09月19日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 02:25:29 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:19:14 +0900