An Electron-Beam-Induced Current Investigation of Electrical Defects in High-k Gate Stacks
(ＥＢＩＣによてHigh-kゲートスタック構造の欠陥の研究)
217 th ECS Meeting. 2010. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 12:28:06 +0900更新時刻: 2024-03-05 11:42:52 +0900