Thermal recovery of damage in SiO2/Si structure implanted with copper negative-ions
(銅負イオン照射されたSiO2/Si構造のダメージの熱的回復過程)
第13回日本MRS学術シンポジウム. 2001年12月20日-2001年12月21日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 02:28:26 +0900 更新時刻: 2023-04-09 15:22:46 +0900