コンビナトリアル手法によるHigh-K材料およびメタルゲートの検討
(Evaluation of gate dielectric and gate metals by combinatorial method)
第2回"High-K Net"進捗状況報告会. 2004.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:00:26 +0900更新時刻: 2017-07-10 18:59:55 +0900