その場X線回折によるGaN上AlN薄膜の結晶トランケーションロッド散乱測定
(Crystal truncation rod scattering measurement of AlN films on GaN using in situ X-ray diffraction)
2026年 第87回応用物理学会秋季学術講演会. 2026年09月08日-2026年09月11日.
NIMS著者
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作成時刻: 2026-09-15 03:06:50 +0900 更新時刻: 2026-09-15 03:06:50 +0900