「反応性プラズマ―金属」反応における粒子放出現象
(Phenomena of Particle Generation by hemically Reactive Plasma-MetalReactions)
日本金属学会. 1986-04-01.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:28:08 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:04:48 +0900