HOME > 口頭発表 > 書誌詳細アルミ層交換成長を利用した石英基板上への多結晶Si薄膜の形成(Formation of polycrystalline Silicon Layer on Quartz substrate )スワルディ ジョコ, ジェバスワン ウイパコーン, 都甲薫, 末益崇, 深田 直樹. 第62回応用物理学会春季学術講演会. 2015.NIMS著者ジェバスワン ウイパコーン深田 直樹Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2017-02-14 10:56:27 +0900更新時刻: 2017-07-10 22:04:44 +0900