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著者名スワルディ ジョコ, ジェバスワン ウイパコーン, 都甲薫, 末益崇, 深田 直樹.
タイトルアルミ層交換成長を利用した石英基板上への多結晶Si薄膜の形成
(Formation of polycrystalline Silicon Layer on Quartz substrate )
会議名第62回応用物理学会春季学術講演会
発表年2015
言語Japanese
外部での文献参照

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