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Interface Characterization of Al/Co Laminated Film on a Si substrate using Variable Temperature TOF-SIMS
(温度可変TOF-SIMSによるSi/Al界面の評価)

著者WATANABE, Norimichi, MAMIYA, Hiroaki, OHKUBOMasataka, KITAZAWA, Hideaki.
会議名SIP-IMASM 2015 1st Symposium
発表年2015
言語English

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