集束した電子ビームによる位置と大きさを制御したナノ構造の作製
(Position and size controlled fabrication of nanostructures with fine focused electron beam)
NIMS-NIST workshop. 2003年11月04日-2003年11月05日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 03:42:41 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:49:38 +0900