Siナノワイヤ中のドーパント不純物の偏析挙動と動径方向分布
(Segregation behaviors and radial distribution of dopant atoms in Si nanowires)
The Eighth International Nanotechnology Conference on Communicat. 2012.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:17:48 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:22:15 +0900