コスバッタ蒸着法により作製した薄膜のマイクロ摩擦力の測定
(Micro Friction Force Measurement of thin Films prepared by Co-sputtering Deposition Technology)
国際材料科学会. 1999年11月29日-1999年12月03日.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-01-08 03:42:08 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:01:20 +0900