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イオン注入熱酸化法によるシリカガラス中への酸化物ナノ粒子の形成
(Fabrication of Oxide Nanoparticles into Silica Glass by Ion Implantation Combined with Thermal Oxidation)
第50回表面科学研究会. 2006. Invited
NIMS author(s)
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Created at: 2017-02-14 10:57:37 +0900Updated at: 2024-03-05 11:41:01 +0900