Uniaxially oriented nickel aluminum superalloy films sputtered with in situ heating
(加熱中スパッタ成膜法による高配向性 Ni Al 超合金薄膜の成長)
第50回結晶成長国内会議（JCCG-50）. 2021.
NIMS著者
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作成時刻: 2022-01-10 03:08:33 +0900更新時刻: 2022-01-10 03:08:33 +0900