マイクロアクチュエータ用Ti-Ni形状記憶薄膜の作製とその特性評価.
(Formation of Ti-Ni Thin Film for Microactuators and Evaluation of its Shape Memory Effect.)
日本金属学会. 1991年10月01日-1991年10月03日.
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作成時刻: 2017-02-18 00:22:05 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:12:03 +0900