Ti-Niスパッタ薄膜に形成されるナノ結晶と板状析出物の生成機構
(Formation Mechanism of Nanocrystals and Subnanometalic Coherent Plate Precipitates in Sputter-deposited Ti-Ni Films)
日本金属学会 秋期大会. 1996年09月28日-1996年09月30日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 01:08:10 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:38:05 +0900