水素イオンにより作製したシリコンブリスター表面の酸化現象
(Surface Oxidation of Silicon Blisters formed by Hydrogen Ions Irradiation)
FIMS/ITSNs2003 21世紀COEプログラム「未来型機能を創出する学際物. 2003年11月17日-2003年11月18日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:07:13 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:47:59 +0900