Initial Plasma Oxidation of Silicon Studied by Real-time Ellipsometry
(実時間エリプソメトリーによるシリコンの初期酸化)
International Symposium Polarized Analysis and Application to De. 1996年06月12日-1996年06月14日.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-18 01:05:54 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:36:57 +0900