HOME > 口頭発表 > 書誌詳細β-Ga2O3基板上の金属パターンをマスクとした裏面露光リソグラフィ大島 孝仁. 2022年 第83回応用物理学会秋季学術講演会. 2022年09月20日-2022年09月23日.NIMS著者大島 孝仁Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2022-09-23 03:19:45 +0900 更新時刻: 2023-01-05 16:06:01 +0900
