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Si基板上の成膜Alを用いたAlOx-ReRAMの開発
(Development of AlOx-ReRAM using Al on Si substrate)

著者李 政祐, 児子 精祐, 中野嘉博, ナフロブスキ ボーダン, 加藤 誠一, 北澤 英明, 木戸 義勇.
会議名2008年春季 第55回応用物理学関係連合講演会
発表年2008
言語Japanese

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