フェーズフィールド法を用いた連続体シミュレーションによる原子流束解析とナノ配線故障予測への応用
(Nanowire Failure Prediction via Atomic Flux Analysis: Continuum Simulation Based on the Phase-Field Method)
第18回 電子デバイスにおける原子拡散・応力現象研究会. 2026-10-26. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2026-10-28 03:07:22 +0900 更新時刻: 2026-10-28 03:07:22 +0900