HOME > Presentation > Detail
種結晶を用いて一方向凝固法で作製したシリコン基板の評価
(Evaluation of crystalline silicon substrate grown by seeding cast method)
2011年春季第58回応用物理学会学術講演会. 2011.
NIMS author(s)
Fulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)
Created at: 2017-02-14 11:42:32 +0900Updated at: 2017-07-10 21:12:08 +0900