オゾン初期酸化中の表面応力の実時間測定
(Real-time Observation of Surface Stress during Ozone Initial Oxidation)
The ECS International Semiconductor Technology Conference (ISTC . 2001年05月27日-2001年05月30日.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-18 02:09:47 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:11:15 +0900