イオン照射によるC-Si系でのSiC形成機構
(FORMATION MECHANISM OF SIC IN C-SI SYSTEM BY ION IRRADIATION)
International Symposium on Material Chemistry in Nuclear Envirom. 2002年03月13日-2002年03月15日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:26:59 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:23:41 +0900