多孔質アルミナマスクによる絶縁体へのナノパターン・イオン注入
(Nano-patterned Ion Implantation into Insulators with Porous Alumina Masks)
REI-15. 2009. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:46:11 +0900更新時刻: 2024-03-05 11:42:31 +0900