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著者名石田 章, 佐藤 守夫.
タイトルポリイミド/Ti-Ni-Cu形状記憶合金薄膜アクチュエータの形状と変位の設定
(Setting of shape and displacement of polyimide/Ti-Ni-Cu SMA thin-film actuator )
会議名日本金属学会2012年度春期大会
発表年2012
言語Japanese
外部での文献参照

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