ポリイミド／Ti-Ni-Cu形状記憶合金薄膜アクチュエータの形状と変位の設定
(Setting of shape and displacement of polyimide/Ti-Ni-Cu SMA thin-film actuator )
日本金属学会2012年度春期大会. 2012.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:11:36 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:15:52 +0900