Fabrication of microstructures and microdevices by the particle assemblage
(粒子アセンブルによるマイクロ構造及びマイクロデバイスの創製)
SPIE's 8th Annual International Symposium on Smart Structures an. 2001年03月04日-2001年03月08日.
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 11:07:41 +0900 更新時刻: 2022-09-05 11:07:41 +0900