SiO2のイオン注入層の赤外反射分光
(Near-surface Layer Sensitive Infrared Reflection Spectroscopy for Ion-Implanted SiO2)
2002年春季第49回応用物理学関連連合講演会. 2002年03月27日-2002年03月30日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 02:32:00 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:22:35 +0900