HOME > Presentation > Detail
コンビナトリアルPLD法による三成分コンポジションプレド薄膜の高速成膜装置の開発及び新規ゲード絶縁膜探索への応用
(development of a combinatorial pld thee composition technique and its applications to exploration of new gate oxide materials)
2002年春季第49回応用物理学会. March 27, 2002-March 31, 2002.
NIMS author(s)
Fulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)
Created at: 2017-01-08 03:52:42 +0900 Updated at: 2017-07-10 18:23:02 +0900