レーザー照射によるSiOx膜中でのSiナノ結晶ドットの析出
(Formation of Si nanodots in SiOx by laser irradiation)
2006年秋季第67回応用物理学会学術講演会. 2006.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 05:44:54 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:40:59 +0900