シリコンのプラズマ酸化中の表面応力の測定
(Surface Stress in Silicon Oxide Layer made by Plasma Oxidation)
原子衝研究協会 第23回研究会. 1998年08月20日-1998年08月22日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 01:32:05 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:50:25 +0900