Microstructure fabrication of GaAs by low energy focused ion beam
(低エネルギー集束イオンビームによるGaAs微細構造の作製)
集束イオンビームに関する日米セミナー. 1997年11月17日-1997年11月20日.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-18 01:22:33 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:45:40 +0900