2.38 wt%TMAH現像液エッチングによる(001)面β-Ga2O3のステップ＆テラス表面形成
(Formation of step-and-terrace surface morphology on (001) β-Ga2O3 by developer etching)
第86回応用物理学会 秋季学術講演会. 2025年09月07日-2025年09月10日.
NIMS著者
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作成時刻: 2025-09-12 03:12:41 +0900 更新時刻: 2025-09-12 03:12:41 +0900