酸化亜鉛薄膜のAr注入による表面特性変化
(Characterization of ZnO surface morophology after Ar implantation)
日本応用物理学会春期大会. 2002年03月27日-2002年03月30日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:07:00 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:24:09 +0900