In-situ Observation of Focused Ion Beam Micropatterns on Semiconductors and Insulators
(集束イオンビームにより半導体及び絶縁体上に加工されたマイクロパタンのその場観察)
1998 International Microprocesses and Nanotechnology Conference . 1998-07-13.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 01:30:10 +0900 更新時刻: 2023-04-09 15:09:16 +0900