(110)配向ScN薄膜の結晶性と電気特性の結晶方位依存性
(Crystallinity and Electrical Properties of (110)-oriented ScN Thin Films)
第86回応用物理学会秋季学術講演会. 2025年09月07日-2025年09月10日.
NIMS著者
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作成時刻: 2025-09-11 03:14:09 +0900 更新時刻: 2025-09-11 03:14:09 +0900